潔凈棚靜電測(cè)試內(nèi)容主要包含:
1 泄露電阻
2 系統(tǒng)接地裝置電阻
3 容積電阻
4 表層電阻
4 系統(tǒng)電阻
潔凈棚靜電測(cè)試" />
GB50591-2010 《潔凈棚工程施工及施工驗(yàn)收規(guī)范》
GB/T25915-2010 《潔凈棚及相應(yīng)的可控自然環(huán)境》
1 泄露電阻
2 系統(tǒng)接地裝置電阻
3 容積電阻
4 表層電阻
4 系統(tǒng)電阻
潔凈棚靜電測(cè)試" />
GB50591-2010 《潔凈棚工程施工及施工驗(yàn)收規(guī)范》
GB/T25915-2010 《潔凈棚及相應(yīng)的可控自然環(huán)境》
ISO 14644_2006 Cleanrooms and associated controlled environments
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Tags:棚防靜電
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