潔凈小屋中的溫濕度控制和測試參考潔凈小屋的溫濕度控制非常重要，不合適的溫濕度影響潔凈效果。然而，溫度和濕度的控制主要取決于工藝要求。高工藝意味著清潔度越高。濕度過高引起的問題更多。如果相對濕度超過55%，冷卻水管壁會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路上，會造成各種意外。相對濕度在50%時容易生銹。另外，濕度過高時，通過空氣中的水分子將硅片表面附著的灰塵化學(xué)吸附在表面，難以去除。相對濕度越高，附著的東西越難去除，但相對濕度在30%以下時，由于靜電力的作用，粒子也容易吸附在表面，大量的半導(dǎo)體部件容易破壞。硅片生產(chǎn)的最佳溫度范圍為35-45%。具體技術(shù)對溫度的要求今后必須列舉，但作為總體原則，加工精度越來越細(xì)致，對溫度變動范圍的要求越來越小。例如，在大型集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為口罩板材料的玻璃和硅片的熱膨脹系數(shù)差的要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，引起0.24um線性膨脹，需要±0.1度的恒溫，同時濕度值一般較低，人出汗后，產(chǎn)品有污染，特別是害怕鈉的半導(dǎo)體現(xiàn)場，該現(xiàn)場不得超過25度。潔凈室測試:打開蓋子或解除肩帶蓋，開口只有18英寸。使用遮光罩的通風(fēng)煙管、排煙在這里開放。這種煙應(yīng)該立即看到被吸入內(nèi)罩空間。如果不使用遮光罩，煙被推動，流動或在外面徘徊開幕。1、過濾器泄漏檢測:檢測高效過濾器及其外框，保證懸浮污染物不通過:損壞的過濾器、過濾器與其外框之間的間隙、過濾器裝置的其他部分侵入室內(nèi)。2、各區(qū)間氣流控制:為證明各區(qū)間氣流運動方向正確，即從清潔區(qū)間向清潔度差的區(qū)域流動，必須檢查各區(qū)間壓差正確、入口或墻壁、地板等開口氣流運動方向正確，即從清潔區(qū)域向清潔度差的區(qū)域流動。3、懸浮粒子濃度和微生物濃度:如果上述測試符合要求，最后測量粒子濃度和微生物濃度(必要時)，檢測符合設(shè)計的技術(shù)條件。4、室內(nèi)氣流控制:氣流控制測試的類型取決于氣流模式-混合流還是單向流。氣流為紊流時，必須確認(rèn)室內(nèi)沒有氣流運行不足的區(qū)域。如果是單向流潔凈室，則必須確認(rèn)整個室內(nèi)的風(fēng)速和風(fēng)向符合設(shè)計要求。5、供氣量和排氣量:如果是紊流型，必須測量其供氣量和排氣量。如果是單向流型，則應(yīng)測量其風(fēng)速。6.隔離檢漏:該測試是為了證明懸浮污染物不通過建筑材料侵入清潔車間。潔凈小屋的測試主要是為了確保其整體性能符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，在使用中發(fā)揮最好的作用。

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